تحلیلگر فلزی, تخلیه جرقه, مبتنی بر سی سی دی. تجزیه و تحلیل دقیق تمام فلزات رایج برای کنترل کیفیت محصول ورودی و خروجی. محدوده طول موج موثر: 130nm-800nm. مقیاس پذیری برتر برای پاسخگویی به نیازهای گسترش کسب و کار ناهموار و قابل اعتماد, آسان برای کار کردن به عنوان مدل روی نیمکت یا کف موجود است
بر اساس CMOS، تخلیه جرقه، طیف سنج انتشار نوری
چند پایه، تجزیه و تحلیل طیف کامل برای حداکثر انعطاف پذیری عنصری
محدودیت های بسیار کم تشخیص
محدوده طول موج: 130nm-800nm، حداکثر 30+ عنصر
پایداری و تکرارپذیری طولانی مدت
طیف سنجی گسیل نوری عمودی عالی
گیج خلاء برای نظارت بر وضعیت خلاء در زمان واقعی
آنالیز کربن فوق العاده کم، نیتروژن کم
کاربردهای تحلیل نمونه کوچک